ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

Маннанов М.И.

doi:10.66073/researchfocus.v2i9.445

ARTICLE 2023 Vol 2 · No 9 RU a54e8827d0c0

ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

THERMOANEMOMETRIC SENSOR BASED ON SI | SI ASOSIDAGI TERMOANEMOMETRIK DATCHIK

Маннанов М.И. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана (Ташкент), Узбекистан

Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44 · ISSN 2181-3833

To‘liq matn (PDF) 266 KB DOI Nashriyot sahifasi

Annotatsiya

Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.

Kalit so‘zlar

датчик поток легирование кремний никел температура диффузия чувствительность удельное сопротивление

Iqtibos keltirish

Маннанов М.И. (2023). ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI. Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44. https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445

Identifikator: https://rf-library.uz/article/a54e8827d0c0/thermoanemometric-sensor-based-on-si
DOI: 10.66073/researchfocus.v2i9.445
Litsenziya: https://creativecommons.org/licenses/by/4.0
Nashriyot: LLC Ilm-fan va innovatsiyalar akademiyasi
Repozitoriyga qo‘shildi: 2026-08-07