Research Focus Library RepositoryOpen Scientific Repository
ARTICLE 2023 Vol 2 · No 9 RU a54e8827d0c0

ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

THERMOANEMOMETRIC SENSOR BASED ON SI | SI ASOSIDAGI TERMOANEMOMETRIK DATCHIK

  • Маннанов М.И. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана (Ташкент), Узбекистан

Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44 · ISSN 2181-3833

Full text (PDF) 266 KB DOI Publisher page

Abstract

Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.

Keywords

датчикпотоклегированиекремнийникелтемпературадиффузиячувствительностьудельное сопротивление

How to cite

Маннанов М.И. (2023). ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI. Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44. https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445

Identifier
https://rf-library.uz/article/a54e8827d0c0/thermoanemometric-sensor-based-on-si
DOI
10.66073/researchfocus.v2i9.445
Licence
https://creativecommons.org/licenses/by/4.0
Publisher
LLC Ilm-fan va innovatsiyalar akademiyasi
Added to repository
2026-08-07