ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

Маннанов, М.И.

doi:10.66073/researchfocus.v2i9.445

ARTICLE 2023 Vol 2 · No 9 RU a54e8827d0c0

ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

Маннанов М.И. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана (Ташкент), Узбекистан

Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44 · ISSN 2181-3833

Full text (PDF) 266 KB DOI Publisher page

Abstract

Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред  на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.

Keywords

датчик поток легирование кремний никел температура диффузия чувствительность удельное сопротивление.

How to cite

Маннанов, М.И. (2023). ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI. Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44. https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445

Identifier: https://rf-library.uz/article/a54e8827d0c0/termoanemometriceskij-datcik-na-osnove-si
DOI: 10.66073/researchfocus.v2i9.445
Publisher: LLC Ilm-fan va innovatsiyalar akademiyasi
Added to repository: 2026-08-07