ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

Маннанов, М.И.

doi:10.66073/researchfocus.v2i9.445

ARTICLE 2023 Vol 2 · No 9 RU a54e8827d0c0

ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI

Маннанов М.И. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана (Ташкент), Узбекистан

Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44 · ISSN 2181-3833

Полный текст (PDF) 266 KB DOI Страница издателя

Аннотация

Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред  на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.

Ключевые слова

датчик поток легирование кремний никел температура диффузия чувствительность удельное сопротивление.

Как цитировать

Маннанов, М.И. (2023). ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI. Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40–44. https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445

Идентификатор: https://rf-library.uz/article/a54e8827d0c0/termoanemometriceskij-datcik-na-osnove-si
DOI: 10.66073/researchfocus.v2i9.445
Издатель: LLC Ilm-fan va innovatsiyalar akademiyasi
Добавлено в репозиторий: 2026-08-07