ARTICLE
2025 Vol 1 · No 1
UZ 095c2177e150
KREMNIY VA POLIKREMNIYDAGI PIEZOQARSHILIKLIKNI MODELLASHTIRISH
MODELING OF PIEZORESISTANCE IN SILICON AND POLYSILICON | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЬЕЗОСОПРОТИВЛЕНИЯ В КРЕМНИИ И ПОЛИСИЛИКОНЕ
Partner conferences of the International Scientific Journal Research Focus, 1(1), 827–830
Abstract
Yarimo‘tkazgichli materiallar fizikasi sohasida piezoqarshilik effekt muhimahamiyat kasb etadi, ayniqsa kremniy va polikristall kremniy kabi moddalar asosida sensorlar ishlabchiqishda. Piezoqarshilik — bu materialning elektr qarshiligining tashqi mexanik kuchlanishga bog‘liqholda o‘zgarish xossasidir. Piezoqarshilik sensorlar nafaqat mikromexanik tizimlarda (MEMS), balkiavtomatlashtirish, kosmik va biotibbiyot sohalarida keng qo‘llaniladi.
The piezoresistive effect is of great importance in the field of semiconductor materials physics, especially in the development of sensors based on materials such as silicon and polycrystalline silicon. Piezoresistive is the property of a material to change its electrical resistance in response to an external mechanical stress. Piezoresistive sensors are widely used not only in micromechanical systems (MEMS), but also in the fields of automation, space, and biomedicine.
Пьезорезистивный эффект имеет большое значение в области физики полупроводниковых материалов, особенно при разработке датчиков на основе таких материалов, как кремний и поликристаллический кремний. Пьезорезистивность — это свойство материала изменять свое электрическое сопротивление в ответ на внешнее механическое воздействие. Пьезорезистивные датчики широко используются не только в микромеханических системах (МЭМС), но и в областях автоматизации, космоса и биомедицины.
The piezoresistive effect is of great importance in the field of semiconductor materials physics, especially in the development of sensors based on materials such as silicon and polycrystalline silicon. Piezoresistive is the property of a material to change its electrical resistance in response to an external mechanical stress. Piezoresistive sensors are widely used not only in micromechanical systems (MEMS), but also in the fields of automation, space, and biomedicine.
Пьезорезистивный эффект имеет большое значение в области физики полупроводниковых материалов, особенно при разработке датчиков на основе таких материалов, как кремний и поликристаллический кремний. Пьезорезистивность — это свойство материала изменять свое электрическое сопротивление в ответ на внешнее механическое воздействие. Пьезорезистивные датчики широко используются не только в микромеханических системах (МЭМС), но и в областях автоматизации, космоса и биомедицины.
Keywords
PiezoresistanceMEMScrystallographicmobilitypiezoresistive coefficient matrixstress tensor.ПьезорезистивностьМЭМСкристаллографические характеристикиподвижностьматрица пьезорезистивных коэффициентовтензор напряжений.PiezoqarshilikMEMSkristallografikharakatchanlikpiezorezistiv koeffitsiyentlar matritsasikuchlanish tenzori.
How to cite
Suvanov, A.X.; Nematullayev, J.R. (2025). KREMNIY VA POLIKREMNIYDAGI PIEZOQARSHILIKLIKNI MODELLASHTIRISH. Partner conferences of the International Scientific Journal Research Focus, 1(1), 827–830.