ARTICLE
2023 Vol 2 · No 9
EN a54e8827d0c0
ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI
Research Focus International Scientific Journal, 2(9) · ISSN 2181-3833
Annotatsiya
Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.
Kalit so‘zlar
датчикпотоклегированиекремнийникелтемпературадиффузиячувствительностьудельное сопротивление.
Iqtibos keltirish
М.И., Маннанов (2023). ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI. Research Focus International Scientific Journal, 2(9). https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445